Sala Blanca

Ceit ofrece servicios en ambiente de sala limpia compatible con las técnicas de fabricación de microsistemas y microsensores. Las técnicas de microfabricación se pueden implementar sobre sustratos planos, típicamente silicio, alúmina, cuarzo o diferentes tipos de vidrio.

Servicios ofertados:

• Generales: recubrimiento PVD o CVD de sustratos planos con capas de óxidos y metales, fotolitografía por ultravioleta, oxidación térmica de silicio, tratamiento térmico de materiales en diferentes atmósferas, análisis de las características de películas delgadas (espesor, rugosidad)
• Fabricación de microdispositivos biológicos (bioMEMS): capacidad de fabricación completa (diseño de prototipos, fabricación y caracterización) de microdispositivos biológicos para aplicaciones de tipo Lab-On-A-Chip y dispositivos point of care.
  • También ofrece la posibilidad de diseñar y fabricar moldes para procesos de casting en SU-8, así como en dispositivos microfluídicos de cualquier tipo.
  • Finalmente, también está capacitado para fabricar de microelectrodos por técnicas de sputtering para el desarrollo de biosensores.
• Corte de sustratos planos: capacidad de realizar cortes de diferentes tipos de sustratos planos (silicio, alúmina, cuarzo o diferentes tipos de vidrio), con control de la profundidad del corte en ambiente de sala limpia.
• Pegado anódico de silicio-metal y silicio-pyrex: la Sala Blanca de Ceit cuenta con equipamiento para realizar pegados de silicio-metal y silicio-pyrex en sustratos de hasta 4 pulgadas.